UFB超微細氣泡水生成裝置
說明：運用超微細氣泡破滅時，產生高壓電場並於瞬間產生強大的能量及自由基，對於有機物質的分解及污漬的剝離很有效果。
氣泡粒徑：從百奈米至數十微米。
生成量：每小時2噸以上
用途
- 水中含氧(可多源氣體)量，適用於漁業養殖、農業育種、植栽及生活上的沐浴健體。
- 減少魚群之排泄物及殘餘飼料之污染
- 降低魚蝦病變，增加存活率，降低風險
- 水質改善、淨化減少去除水中含藻量及浮游生物
- 食品餐飲業廢水排放，加速浮油過濾，達到油水分離效果。
- 加入CO2做為碳酸飲料或其他產業用途。
- 引入O3製造高濃度臭氧水生成器，被廣泛用於殺菌消毒系統、產業廢水排放、及有機物體的氧化作用。
- 加入氫氣做為氫離子水生成器，使用於生物醫學及飲品方面。
超微細氣泡裝置應用
- 空氣(相關氣體)+水(液體)--->奈米及微米氣泡水
- 氣泡粒徑大小從奈米至微米，粒徑大小可依需求做調整。
結構圖
超微細氣泡在半導體洗淨技術的應用
在半導體裡LSI製造朝高性能化及低耗電力方面設計。同時也伴隨著微細加工時遭到不純的微細金屬汙染吸附於表面，對產品質量及信賴度產生重大影響。
在製程上大量引入相關離子時，光阻表面附近會形成”crust"的硬化層，此時要去除光阻就變得很困難，即便利用高強度的藥水硫酸氫水也不易去除。但是利用含有臭氧的超微細氣泡水時就可以完全除淨，而且又不會影響自然環境。
| 項次 | 製程 | 用途 | 一般使用藥液 | 新型態 |
| 1 | SPM | 有機物質去除 | 硫酸＋過氧化氫 | 臭氧＋超微細氣泡水 |
| 2 | HDC | 氧化膜去除 | 氟酸 | |
| 3 | APM | 顆粒去除 | 氨＋過氧化氫 | |
| 4 | HPM | 除去金屬物質 | 鹽酸＋過氧化氫 |
臭氧＋超微細氣泡水製造機
使用臭氧O3做為氣體源導入液體中製成超微細氣泡臭氧水，氣泡粒徑從奈米至微米不等， 能長時間溶解留存於液體內，並強力的發揮臭氧效果。應用於殺菌、脫臭、脫色、保鮮、淨化 及化學反應等。
臭氧微細氣泡水的用途：- 食品產業：食物蔬果除藥洗淨，生鮮品的殺菌保鮮。
- 餐飲行業：廚房設施、調理器具及食材之殺菌除臭洗淨。
- 漁養產業：漁業魚苗養殖場的水源，達到除菌、除藻、去氨、排毒等效果。
- 農植哉產業：水耕栽培及培養液之消毒殺菌，去除蔬果物的農藥殘留。
- 水處理產業：上下水道之淨化、醫療公共設施、浴池水質消毒淨化。
- 精細製造業：相關物件的洗淨，表面改質，酸化處理。
- 以超微細氣泡代用半導體晶圓製程洗淨